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(一)主要配置：
1、微波频率2.45ghz；足额功率0～500w（基本型）或0～1000w（升级型）连续可调，阳极高压、阳极电流足额显示；
2、φ50mm（基本型）或φ90mm（升级型）石英管真空室，有一个观察窗和一个诊断窗；
3、石英管采用制冷循环水冷却，保证装置安全运行。
4、配有真空测量及控制阀门系统；3路工作气体流量控制；
(二)典型实验：
1、等离子体化学气相沉积。a（气）+b（气）→c（固）+d（气）。
反应气体a、b被激发为等离子状态，其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。
2、等离子体表面刻蚀。a（气）+b（固）→c（气）。反应气体a被激发为等离子体状态与固体b表面原子发生反应生成气态物c，可用于集成电路的刻蚀实验。
3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基，高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态，从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。
4、等离子体表面改性。a（气）+b（固）→c（固）。反应气体a被激发为等离子体状态，与固体b表面发生反应，生成新的化合物，从而达到改变b物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。
(三)产品特色：
1、微波系统设计严谨，加工精良，运行时微波准零泄漏，确保使用者人身安全；
2、微波功率充足，等离子效应强劲，作用效果良好；阳极电压电流足额显示。
3、样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放；
4、样品台可加热或冷却，有利于控制反应过程。
5、制冷循环水系统践行环保理念，避免用长流水费水扰民。
6、循环水机可联机使用、可独立使用，提高了投资效益；
7、缺水时启动高压或正常工作时断水，系统会断电并报警；
8、真空泵排气口接有油雾过滤器，保护环境；
9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目；
10、整机造型典雅大气。
(四)辅助设备与耗材（主要由客户另购）：
超声清洗机、1000×金相显微镜；硅片、金刚石微粉、氢气、甲烷、甲/乙醇、玻璃基衬底的碳膜、模板、石英管/板等。
(五)特殊配置（客户提出要求,本厂设计制作,费用双方协商）：
1、异型基片台（样品台） （参考价￥220）
2、上置疹断探针（带透明观察窗） （参考价￥360）
3、可加热可测温的基片台——可水冷可
出接线端子的基片台支柱——宽行程
精巧豪华升降架——下法兰(总成) （参考价￥6800）
4、基片台加热及温度测控仪 （参考价￥1100）
5、可水冷的基片台（带升降架总成） （参考价￥3600）
6、光学镜头(用于联接光谱仪、光度计等)（参考价￥1500）
7、客户提出需求的其它配置 （另议）
(一)技术参数及特性：
1、工作电压： ac220v±5% 50hz
2、整机功率： 3000w
3、整机重量： 约260kg
4、外形尺寸：
真空系统： 长650宽560 高1460（mm）
电控系统： 长560宽560高1480（mm）
5、真空室极限真空度：10-3pa
6、蒸发电流调节范围 ： 0～150a
7、放电管工作电压： 0～1500v
8、放电管电流测量范围 200ua～200ma
(二)产品特色：
1、本真空实验装置主要部分采用高强度玻璃制造，物理过程直观，仪器结构合理，操作简便灵活，能增长学生的学识和兴趣，提高学生的实验能力和理论联系实际的能力。
2、当旋片泵工作时，悬浮在被抽气本中的油滴会随气体一起排出机外。为此本产品在旋片泵的排气口上加装了特殊高分子材料制成滤芯的油雾过滤器，从而达到节油和环保的效果。
3、制冷循环水系统践行环保理念，避免用长流水费水扰民。
4、完善的断水报警功能。
(一)技术参数：
1、电源： ac220v，50/60hz；
2、额定功率：7kw；
3、炉膛尺寸：120×240mm；
4、加热元件：si-mo硅钼棒
5、额定温度：1600℃，温控精度：±1℃，升温速率：10℃/min；
6、报警保护：上、下限,正、负偏差,断偶等报警；
(二)产品特色：
本设备适用于材料学相关专业的教学和科研实验，由温控系统、管式炉、真空系统、供气系统、水冷系统五部分构成，可在真空或气氛环境下制备纳米材料等。
1、智能ai控温，具备50段程序编排功能，节能高效益；
2、特殊的炉膛保温材料，炉膛温度分布均匀，保温性能优异；
3、高温热处理范围，可达1600℃；
4、抽真空和双路供气口，可作为气氛保护或反应气体通道；
5、真空密封部件由制冷循环水冷却，避免长流水费水扰民。
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上海东茂电子科技有限公司
方宁妹
18916014016
中国