? 在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数（计数），计算处理。如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源：
1、光栅计数尺的误差；
2、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差；
3、工作台两测量轴垂直度带来的误差；
4、显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差；
5、测量室温度偏离20℃参考温度带来的误差；
6光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。